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电子行业超纯水设备 [荐]

2019-02-08 17:14:31  点击:221

详细信息

电子工业用超纯水概述

半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大批的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的请求也越高。
制备电子工业用超纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方法,其基础工艺流程为:原水→砂碳过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方法,其基础工艺流程为:原水→砂碳过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方法,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力宏大的超纯水制备工艺,其基础工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
 
三种制备电子工业用超纯水的工艺比较
目前制备电子工业用超纯水的工艺基础上是以上三种,其余的工艺流程大都是在以上三种基础工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优毛病分辨列于下面:
  1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的处所少,但毛病就是需要经常进行离子再生,耗费大批酸碱,而且对环境有必定的损坏。
  2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备,其特点为初投次比采用离子交换树脂方法要高,但离子设备再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方法要少很多。但对环境还是有必定的损坏性。
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